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[1]蒋一祥,苑进社,邹祥云.沉积温度对PECVD 法制备SiNx 薄膜光致发光峰的影响 [J].重庆师范大学学报(自然科学版),2012,29(02):77-79.[doi:10.11721/cqnuj20120216]
 JIANG Yi-xiang,YUAN Jin-she,ZOU Xiang-yun.Effect of Temperature on Photoluminescence of SiNx Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition [J].期刊社,2012,29(02):77-79.[doi:10.11721/cqnuj20120216]
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沉积温度对PECVD 法制备SiNx 薄膜光致发光峰的影响

更新日期/Last Update: 2012-03-29