在SUS304不锈钢衬底上以粉末靶材为溅射靶源﹐利用射频磁控溅射技术制备出非晶态结构的V2O5、LiPON和LiMnO4薄膜﹐并借助扫描电子显微镜（SEM）测试手段对薄膜的形态进行表征。用此3种沉积的材料依次作为薄膜电池的负极、固体电解质和正极﹐金属钒则作为集电极﹐成功制备出全固态薄膜锂离子二次电池。实验结果表明﹐截止电位控制在0.3～4.0 V之间测试时﹐该薄膜电池具有良好的充放电特性；经过500次循环后﹐其电化学性能趋于稳定﹐放电容量保持在2.67 μAh/cm2左右；采用恒定电流为20 μA进行循环性能测试时﹐首次放电容量达到4.41 μAh/cm2﹐循环寿命则可达到1 500次以上。