热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展

doi:10.11721/cqnuj20050307

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热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展
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                        10.11721/cqnuj20050307
                    
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探讨了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式，特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求。为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对ROIC的破坏性影响，一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术；另一方面发展了复合探测器结构设计，已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列，其NEDT可达20 mK。

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吴传贵,刘兴钊,张万里,李言荣.热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展[J].重庆师范大学学报自然科学版,2005,(3):29-32

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